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无尘车间等级的划分和用途

作者： 上力恒净化工程   来源： www.slhjd.cn 日期：2021/4/1 21:39:09人气：1498

       半导体工业是极精密的工业，当我们把计算机拆开之后，在电路板上一颗颗小小的 IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作，制造的过程必须在无尘室内进行，集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资，多因为需要一个无尘室。




       所谓的无尘室是一个人造的环境， 里面含有的粒子远低于一般的环境， 随着集成电路技术的快速成长， 也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求， 在工业上即使粒子之尺寸小于1 微米， 可能阻碍产品的运作或降低其寿命。 由于奈米技术的兴起， 造成半导体关键尺寸持续缩小， 集成电路积集度不断的增加， 尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。 例如当金属尘粒地落到金属导线时， 就可能会使金属导线形成短路。 又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上， 可能将其腐蚀， 所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。




洁净车间等级主要有哪几种以及它们的用途。
1.1级：主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的精确要求为亚微米。
2.10级：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3.100级：可用于医药工业的无菌制造工艺等，这一洁净厂房大量应用于植如体内物品的制造，外科手术，包括移植手术，集成器的制造，那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。
4.1000级：主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试，装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。
5.10000级：用于液压设备或气压设备的装配，某些情况下也用于食品饮料工业，此外，万级无尘车间在医工业中也很常用。

6.100000级：适用于多种工业部门，比如光学产品及电子产品的制造。




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